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第1203章 金乌计划?鈢323!材料学教父的含金量![7 / 10]

年的资深工程师,他在文中详细阐述了软X射线光刻面临的三大技术障碍。

第一,光源问题。

软X射线通常由同步辐射或雷射等离子体产生,但无论哪种方式,功率都远远不够。

就拿EUV光刻机来说,使用的是13.5纳米的极紫外光,光源功率高达数十千瓦。

而软X射线波长更短、光子能量更高,想要实现生产所需的曝光效率,除了更亮、更稳定的光源,还得解决能量转换效率、散热和连续运行等一系列工程难题。

第二,光学系统问题。

软X射线会被材料吸收,折射透镜没法运作。

唯一可行的方案是多层膜反射镜,但世界最先进的钼矽多层膜,在软X射线波段的反射率也仅有70%。

而一台光刻机里有几十面反射镜,每次反射损失30%的光强,就会造成到达晶圆的光强连初始值的1%都不到。

第三,掩模版问题。

软X射线无法穿透实体掩模版,最佳方案是使用反射式掩模。

但反射式掩模的制造难度太高了,任何微小的缺陷都会在晶圆上被放大,而且掩模版本身也会吸收大量光能,导致热变形。

不怪他们怀疑!

在既有认知和技术体系下,软X射线确实很难被认为能够成为商用光刻机的光源。

这就像一个人宣称自己骑著自行车横渡太平洋,在没有亲眼见证之前,谁会相信?

因为打破了他们对现实的固有认知!

而人,只会相信自己相信的!

除此之外,100皮米级的晶片代表著高能耗和高密度的电晶体,注定会产生可怕的热能。

到时候,拿来做移动处理器,再配上一个金属后壳,用户一边打游戏,一边煎鸡蛋,大概率是没问题的。

除非!

森联集团已经掌握了常温超导体材料的制造技术!

此外,还搞定了软X射线光源、光刻胶和矽晶圆的材料问题。

如此一来,100皮米级晶片才有量产的可能性。

隔天下午,远在阿比西尼亚森联城的孟杰,在实验室内,亲自演示323材料的超导现象。

画面中,孟杰站在实验台前,从助理手中接过一个透明的密封容器。

容器内,静静躺著一小块黑色金属样

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