D工艺需要多少步光刻吗?至少十二步!”
“咱们现在实验室的设备,能稳定做六步光刻就不错了,做CCD?光刻精度不够,出来的片子全是废品,根本是浪费时间。”
说着,他用铅笔在纸上画了个简图:“CCD的原理是电荷耦合,对工艺均匀性要求极高。”
“二氧化硅的厚度偏差超过百分之五,转移效率就掉得没法看,咱们现在的氧化炉温度控制精度是正负三度,人家国外是正负零点五度,这怎么比?”
“根本一个天上一个地下。”
听着鲜明的数据对比,学生们弱弱的站在一边,不说话了。
袁祥辉又拿起铅笔,在稿纸上写写画画:“PMOS虽然慢,但工艺简单,八步光刻就够了,关键是怎么把速度提上去。”
“如果用四相时钟,倒是可以降低功耗,但电路复杂度会增加一倍。如果用动态电路,速度是够了,但电荷泄漏问题怎么解决?尤其是在高温环境下,这个问题会更严重……”
“到底怎么解决呢?”
他自言自语着,完全沉浸在自己的世界里。
就在这时,实验室的门被敲响。李建成探进半个身子:“袁老师,曙光厂的人来了,在会议室等着呢。”
袁祥辉头都没抬,摆摆手:“让他们等一会儿。”
“您看要不先过去一趟,稍微见个面,然后再回来?”
“我这边正在考虑一个重要问题,思路正好来了,打断了就接不上了。”
李建成继续开口说些什么,但看到袁祥辉那副全神贯注的样子,又把话咽了回去,轻轻关上门走了。
会议室里,
时间一点一点过去,墙上的挂钟敲了十点,十点半,茶水续了一杯又一杯,三位教授一个都没见着。
李建成来回跑了好几趟,每次都是一脸歉意地说“马上就来”,但马上就没了下文。
“这……”
陶伟的脸色已经有些不好看了,站起来走到窗户边,看着楼下的道路,语气里已经带上了明显的不悦。
“李老师,这都等了一个多小时了,方局长那边可是提前打了招呼的,省里市里都很重视这次合作。”
“现在倒好,三位教授一个都
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