听着这一系列关键名词,张停没有太多的感知,毕竟他不是专精这一方面的专家。
但后面的两位专家肉眼可见的兴奋起来。
眼神里是满满的火热。
钱学明又走到下一台设备前,这是一台卧式扩散炉,顶部密布着管线:
“这是氧化扩散炉,用于在硅片表面形成热氧化层和掺杂杂质。”
“我们在原来基础上优化了温度场分布,炉管内九个测温点的温差控制在正负零点五度以内。”
“掺杂采用先预淀积再推进扩散的两步法,结深控制精度达到正负零点一微米,这对后续MOS管的阈值电压一致性非常关键。”
接下来是离子注入机,溅射台,金属化设备,化学气相沉积设备……
钱学明领着队伍从前到后走过每一道工序,每一步都讲得细致。
光刻前的清洗采用SC??1和SC??2标准两步清洗法,配合兆声震荡辅助去除亚微米级颗粒。
栅氧化层厚度控制到一百二十埃,用椭圆偏振仪在线监测每一批次,多晶硅淀积采用低压化学气相沉积,均匀度优于百分之二……
每一道工序都有具体参数和实测数据。
张停听得频频点头,口中的赞叹一句接着一句。
匡国梁则掏出随身的小本子埋头记了好几页。
走到生产线末端的时候,钱学明停了下来,站在一台测试机前。
他转过身来,脸上的紧张已经彻底消散,取而代之的是一种的自豪:
“各位领导,经过前后三个月的工艺调试和三次流片迭代,目前我们的CMOS工艺良率已经稳定在百分之九十五以上。”
“每片四英寸硅片可产出三百二十颗曙光一号芯片,单片成本折算下来不到三美元。”
“相比国外同级别产品的采购价格,我们的成本优势超过了百分之七十。”
“成本优势超过70%!”
匡国梁倒吸一口凉气。
这个成本放在市场上,毫无疑问,将会带来降维性打击。
拥有无与伦比的竞争力。
钱学明把手放在测试机侧面的数据面板上:
“而且我们不仅跑通了工艺,还完成了工艺文件的标准化,每一个参数
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