下降到了百分之二点三,完全进入了规格范围。
刻蚀机侧面红色的“报警”指示灯灭了,亮起了稳定的绿色工作灯。
“行了!”
钱学明直起腰来,用力拍了一下设备侧面的防护板,转头看向林默的时候,语气轻快了很多。
“厂长,多亏您来了,要不然我还得掰扯至少两天。”
说着,钱学明朝小日子工程师的方向偏了一下头,声音压低了半度。
“他非说设备没问题,让我们自己找测试方法的原因,死活不愿意让我们动设备内部的机械结构。”
林默笑了笑,声音淡定:“没事,设备是我们买的,怎么使用,怎么调整,是我们的事,他们的售后手册只是参考,不是圣经。”
80年代初期,小日子设备厂对国内市场确实有很多技术保留,有些工程师把设备的内部调整当作黑箱处理,不让客户碰,怕泄露核心技术。
甚至还有过买一套设备连关键管路怎么走的图纸都不给,最后只能现场拆机逆向测绘的情况,连买马桶都要附带图纸的故事都有过。
林默摆了摆手,再一次强调。
“钱工,现在我们是甲方,他们的服务态度迟早会跟着市场走,你该怎么做就怎么做,不用太在意他们的看法。”
钱学明听了连连点头。
他看了一眼已经稳定运行的刻蚀机,语气里带着一层压不住的兴奋。
“厂长,目前前端的光刻机已经能跑通最基本的曝光流程了,后端的刻蚀机刚才这个问题一解决,整条前道工艺线的大毛病基本都消除了。”
“剩下还有一些小的问题,主要是温度控制和气路切换的时序优化,预计最多三个星期,整条线就能进入试生产阶段,开始跑第一片晶圆。”
林默点了一下头,然后抬起手来,拍了拍钱学明的肩膀:
“好,就按这个节奏推进,不要太急。”
“每一步都稳扎稳打,该测试的测试,该记录的数据记录完整。”
“试生产阶段不求快,但每一步都要拿得出可追溯的工艺数据,有什么问题随时沟通。